新型コロナ禍にあって、経済低迷が懸念されています。しかしながら、いち早くその状況から脱しつつあると言われているのが中国です。中国は日本企業にとって重要なマーケットでした。その中国市場の復活が日本経済の安定につながる可能性があるとも考えられています。このような状況にあって、中国経済の現在と今後について、レーザー市場の観点から考察したいと考えています。今回のセミナーはそのような視点で企画したものです。ぜひこの機会にご参加ください。

開催日時

2020年9月16日(水)15:00~17:00
(接続テスト:13:00~13:20、聴講者入室:14:45~)

形態

Zoomを用いたWEBセミナー(Zoomウェビナー)
注)本セミナーでは録音・録画、PC画面の撮影、また配布しますセミナーテキストの複製・第三者への提供などの行為一切を固く禁じます。


プログラム

15:00~15:50

半導体市場とリソグラフィ光源(仮)

ギガフォトン(株) 溝口 計 氏

半導体の微細化の進展とともに2010年頃までは光リソグラフィ光源の短波長化が水銀ランプ:g線、i線、エキシマレーザ:KrF、ArF、ArF液浸とフラグシップをより短波長な光源に替えながら進化してきた。しかしそれ以降は、高出力EUV光源の開発の遅延により量産工場では2~4重露光によるArF液浸露光とエッチングを組み合わせたマルチパターニングに至りパターニングコストが大きく押し上げられた。 こうした中で最先端リソグラフィのフラグシップが一律に切り変っていた時代から、
① ロジックデバイスはEUV+ArF液浸
② DRAMメモリは液浸マルチパターニング
③ NANDフラッシュメモリはKrFを使い3D構造
と半導体リソグラフィは主役無き多線化の時代になった。
一方これまで真打と言われながらもボトルネックになっていたEUV(極端紫外線)波長でのEUV光源の性能改善がようやく進展し、半導体製造現場での250 W運転の成功も報告されるようになった1)。これによってロジックデバイス製造メーカを中心にEUV露光装置の本格導入が始まろうとしている。これに連動してリソグラフィ用の光源開発も、これまでの短波長化の1本道から多品種の光源への複雑な要求に変化している。本講演では、DUV(KrF、ArF液浸)リソグラフィの進展とDUVエキシマレーザ光源開発の現状。EUV光源の昨今の世界での進展と、ギガフォトン社の開発の現状について解説する。

 
16:00~16:40

中国におけるレーザ加工機の最新技術・市場動向

フォトンブレインジャパン 代表/信州大学 特任教授 家久 信明 氏

2019年12月に中国の武漢市で発生したと思われている新型コロナウイルスによる感染症肺炎は、依然として全世界に蔓延しその収束を見ない様子で全世界の経済を低迷させている。しかしながら、その新型ウイルス発生元の中国ではいち早く感染を収束させ、中国国内の経済は2020年4月以降急速に回復している。本講演では、中国国内におけるコロナ後の回復したレーザ加工機の製品技術や市場動向について、国際展示会【Laser World of Photonics China 2019/2020】(Laser上海)を主体に調査して得られた最新情報を紹介する。

 
16:40~17:00

質疑応答

 


受講料・申込方法ほか

受講料 ¥11,000(税込)
---複数名申込割引---
同一企業から複数名でお申込みいただいた場合、
2人目以降の方の受講料を半額(税込5,500円)にいたします。
<3人以上の場合> 備考欄に受講される方の「お名前」「ご所属先」「E-mailアドレス」をご記入ください。
配布資料 講演資料
※ Zoom招待案内メールの中に配布資料のダウンロードURLを記述いたしますので、そちらよりダウンロードをお願い致します。
※ 配布資料は公開可能な範囲となります。また、資料は複製・コピー、第三者への開示・提供を固く禁じます。
申込・支払方法 下部にあります、お申込みフォームよりお申込み下さい。
受付が完了しましたら自動返信メールが届きますので内容をご確認ください。
<お支払いについて>
後日、決済用URLを記載した請求書(クレジット用)をお送りします。お支払いは9/15までにお願いいたします。

<セミナーへの参加について>
9月15日(火)に順次メールにてお知らせします。
(※ Zoom招待案内メールの中に配布資料のダウンロードURLを記述したしますので、そちらよりダウンロードをお願い致します。)
領収書発行 領収書が必要の場合は、備考欄にご記入ください。
申込締切 9月15日(火)正午
お問合せ (株)オプトロニクス社 担当:加納・三島
Tel:(03)3269-3550 E-mail:seminar@optronics.co.jp


※ セミナーの参加受付は終了いたしました。